扫描电镜作用(扫描电镜用法)

导语：扫描电镜若干重要术语解读

加速电压（extra high tension EHT）

0.2~30KV，一般高压指用20KV，低压指小于10KV

离开栅极一定距离，有一个中心有孔的阳极，在阳极和阴极间加有一个很高的正电压，称为加速电压。它使电子束加速而获得能量，加速电压的范围在1~30kV，其值越大，电子束能量越大，反之亦然。

加速电压的选用，取决于样品的质量(包括导电性)、图像质量的要求和倍率等情况。当样品导电性好时，可选用高加速电压，这时电子束能量大，激发的二次电子、背散射电子数量就多，有利于改善图像的分辨率、信噪比和反差，对高倍观察有利。但加速电压过高会产生不利因素，我们一般选择20kV的加速电压。当样品导电性差时，又不便喷碳、喷金，还要尽可能将样品原来的面貌保存下来，取得高质量的扫描照片。而这类样品容易产生充、放电效应，样品充电区的微小电位差会造成电子束散开，使束斑扩大，从而损害分辨率。邻近点的负电场又会使二次电子的轨迹产生偏离，从而降低清晰度。同时，表面负电场对入射电子产生排斥作用，改变了电子的入射角，从而使图像不稳定，产生移动、错位，甚至使表面细节根本无法呈现，加速电压越高这种现象越严重，此时选用低加速电压(<10kV)，减少充、放电现象，提高分辨率。

加速电压的选择

加速电压是重要参数，仪器提供的使用范围0.2~30kV，需要根据样品种类和分析目的进行选择，见下表。

消像散

当观察高倍图像时，反复调焦都不清楚，图像在相互垂直方向上有模糊边，见下组照片的左图和中图，这就是像散，必须予以消除。

消像散操作有三种选择：

1．点击下拉菜单的消像散图标，拖动鼠标左键分别上下或左右移动，使模糊边尽量减小，再调焦，清晰度有所改善，该过程反复进行，直到图像清晰，见右图。

2．在光阑板面点击消像散（Stigmation），分别拖动XY坐标线的两个方向滑尺，减小模糊量。

3．利用手动操作板上的两个消像散旋钮，分别缓慢转动，消除模糊边。

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